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双侧滑轨式快速退火炉1200℃

双侧滑轨式快速退火炉1200℃

简要描述:

双侧滑轨式快速退火炉1200℃
 主要用途:主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。

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双侧滑轨式快速退火炉1200℃

 主要用途:主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长。

产品用途:

主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长,其它快速热处理工艺。

双侧滑轨式快速退火炉1200℃

产品结构: 

1、采用进口钨灯管为发热元件,升温速度高达200℃/s;

2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维,内有进口氧化铝涂层,抗热冲击;

3、保护管采用高纯石英管 ,可冲入多种气体;

4、石英管两端采用不锈钢密封法兰,耐高温、耐腐蚀;

5、滑轨采用铝合金超静音滑道;

6、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;

7、控制系统采用进口40段程序控温,控温精度±1℃,移相触发、可控硅控制;

8、选配无纸记录仪,记录、存储、显示当前或历史温度曲线,也可通过U盘转存入电脑。

9、选配西尼特智能温控软件,通过电脑进行全程操作;

10、使用温度超过900℃请接冷却水,以免密封圈受损;

技术参数

产品名称

单位

型号

HY-5-10

HY-6-10

HY-7-10

HY-9-10

HY-10-10

额定功率

kw

9

9

9

9

9

额定电压

v

220

220

220

220

220

温度

1000

1000

1000

1000

1000

工作温度

950

950

950

950

950

相数

加热区

mm

350

350

350

350

350

石英管

直径

Φ50

Φ60

Φ70/80

Φ90

Φ100

长度

L=1300

L=1300

L=1300

L=1300

L=1300

保护气体

 

氮气 氩气

氮气 氩气

氮气 氩气

氮气 氩气

氮气 氩气

流量计种类

 

浮子流量计

浮子流量计

浮子流量计

浮子流量计

浮子流量计

气体流量

L/min

0~7

0~7

0~7

0~7

0~7

炉膛材料

 

进口纤维

进口纤维

进口纤维

进口纤维

进口纤维

加热元件

 

碘钨灯

碘钨灯

碘钨灯

碘钨灯

碘钨灯

升温速率

/s

0~100

0~200

0~200

0~200

0~200

降温速率

/s

1~10

1~10

1~10

1~10

1~10

控温精度

±1

±1

±1

±1

±1

移动间距

mm

400

400

400

400

400

滑轨长度

mm

1350

1350

1350

1350

1350

炉体尺寸

长宽高

645*465*785

645*465*785

645*465*785

645*465*785

645*465*785

真空度

可选机械泵(6.67pa或扩散泵(6.67*10-2

标配件

高温钩,高温堵头,石英舟,高温手套。

 

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