多工位真空管式炉是新材料研发、半导体工艺、纳米材料合成与科研教学中的热处理装备，其通过多个独立温区与真空/气氛环境，实现对多种样品的并行或梯度处理。
多工位真空管式炉结构复杂、运行条件严苛（高温、真空、惰性气体），为确保长期稳定运行、温度均匀性与工艺重复性，科学系统的定期维护保养至关重要。
一、每日维护：使用后基础清洁
每次实验结束后，待炉体自然冷却至安全温度（通常＜100℃），关闭加热电源与气源。用无尘布清洁炉体外壳与控制面板，清除粉尘与指纹。检查各工位石英管或刚玉管有无裂纹、变形或污染，及时清理残留物。
二、每周维护：真空系统与气路检查
检查机械泵油位与油色，若油液乳化或变黑，立即更换专用真空泵油。用检漏仪对真空法兰、阀门、密封圈进行抽查，确保系统气密性。清洁进气过滤器，防止堵塞影响气体流量稳定性。
三、每月维护：加热元件与温场评估
断电后检查各温区加热丝（如硅钼棒、电阻丝）有无局部过热、弯曲或断裂。测量冷态电阻，判断老化程度。使用标准热电偶在各工位中心点进行空载测温，绘制温度分布曲线，评估温场均匀性（应≤±3℃），必要时调整功率分配。
四、每季度维护：炉管与密封件维护
拆卸各工位炉管（在防护条件下），用酒精或丙酮清洗内壁，去除沉积物。检查两端法兰O型密封圈（氟橡胶或金属密封）是否老化、开裂或变形，及时更换。对于多通道进气系统，校准质量流量计（MFC），确保气体配比精确。
五、每半年维护：传动与控制系统检测
若配备自动推舟机构，检查导轨、丝杠润滑情况，加注高温润滑脂。测试步进电机或伺服系统运行是否平稳，定位是否准确。检查热电偶补偿导线有无破损，连接端子是否氧化，确保测温精度。
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