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高温炉安全操作规程
发布时间:2020-09-14   点击次数:67次

 高温炉安全操作规程

 一准备工作

1,检查电源线接触是否良好2,检查连接线是否正常3,检查冷却水是否正常4,检查密封性是否正常5, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘

二开炉

1,打开主电源开关2, 向炉体充氩气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板3, 将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按钮,取出 。石墨坩埚,依次放置于石墨推车上输送车开关.4, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物

三装料1,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。2、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。3、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门

四抽气

1、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封2、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,3、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开氩气阀门充氩气(20L/min)。

 

  d. 加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。

 

  5.冷却

 

  a、加热结束后,按工艺条件进行冷却;

 

  b、炉内温度降低至 200℃以下,压力达到一个大气压后才可打开炉门,继续冷却。

 

  c、完全冷却至室温后,将输送车开关打至 OUT,依次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按钮,取出石墨坩埚,取出硅料,并进行分装。

 

  d、清扫炉体后关闭炉门,将炉体抽成负压。

 

  e、清理并妥善放置其它附属物件。

 

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